“是的,这里面的所有部件,都是纯国产。”
江奕辰介绍道,“我们采用同阿斯麦EUV光刻机不同的光源处理模式,开创性地研究出了基于激光诱导气体等离子体技术,用来激发极紫外光。”
“采用该技术,我们在光源激发上的成本相比阿斯麦降低20%。”
陈立新抚掌而叹,“我虽然对这个领域不是特别懂,但也经常听到,EUV光刻机是目前世界上最先进的光刻机,在阿斯麦那边,一台至少卖2.5亿米元。”
按照汇率,一台便是十六七亿华元。
简直是天价。
但即便是天价,对方也是禁止出口到华国。
理由,华国是某协议禁售国家。
是的,在国外市场,远远不是所谓的自由市场,相反,如果他们是市场领先或是垄断地位,那么他强调的是自由贸易。
倘若他们是落后者,那么对不起,他们强调的保护主义。
当然,更为重要是,米方为首的国外势力,都惧怕华国崛起,从而导致他们的科技领先地位丧失,躺着撅起高额利润的日子一去不复返。
赚钱容易了,人就懒惰了,再让他们回到勤劳吃苦的那个年代,是很艰难的。
江奕辰点头应是,“是啊,他们卖得贵不说,还不卖。”
“你这一台卖多少?”
“目前初步定价是9.8亿元。”江奕辰解释道。
这个价格是根据综合研判的结果,也保证了华辰微电子能够获得足够的利润空间。
至于赚多少,一半是有的。
当然,这些成本计算,都是机密,不能够随意公开。
更何况,如果真计算技术研发的成本,如果没有江奕辰,至少要翻数倍。
这个价格也比国外阿斯麦的要低得多。
陈立新颔首,激动不已,“好,很好,我们工业部刚制定华国工业计划2025,这光刻机就是其中一条,当时我们想着到2025年研发出197nm的干式光刻机,但如今没有想到啊!才过一年,就提前实现了,还是EUV光刻机,简直像是做梦一样!”
梁为民也抬着大拇指示意,“江总的科研能力,确实是数一数二,部长,这个科技奖是不是得再斟酌了?”
“科技奖么?”
陈立新略微想了想,摆手,“这个已然确定的事项,不能轻易变动,再说了,我看今年江总不也是获奖对象嘛!”
“至于EUV光刻机,留着明年。也正好看看他的实际效果。”
毕竟是高精尖的科技成果,陈立新比较谨慎。
并没有因为现在看一看,专家评一评,就直接确定。
如今只能说是入选,倘若在实际生产线上,能够表现良好,按照预期制造更高制程的芯片,那么再来论功行赏也未尝不可。
江奕辰嘴角有笑,“我也获奖了啊?”
此前只是听到风声,没有想到工业部长嘴里说出来。
那便是板上钉钉了。
倒是不知道是什么技术获奖的。
陈立新爽朗一笑,“我记得你有两个名字,华科院好几位院士都向我提过你,说你科研能力极强,未来会是最年轻的院士。”
江奕辰老脸有些红,“大家对我过誉了,期望也太高了,受之有愧。”
“不,今天过来看了你们研发的EUV光刻机,我觉得他们并没有说错。”陈立新感慨不已,“我经常说,科研一道,不论资排辈,就看科研水平、科研成绩。”
“小江,你值得给予更高更大的平台,去实现自己的人生价值,也为华国科技发展提供强劲助力。”
这是非常重的期盼。
江奕辰感觉肩膀有些沉重,“部长,您放心,我将尽我所能。”
又聊了一会,专家组纷纷结束了评测,凑了过来。
“简直不可思议!”
“是啊,这种光源激发方式,我们听过,但没有想到有这么巧妙的实现办法。”
“我们检测了芯片制程,单次曝光就达到了25nm!”
“有这么好的曝光精度,芯片制程可以轻易实现14nm,甚至等效7nm、5nm,3nm都不无可能!”
众所周知,芯片制程达到14nm之后,后续的7nm一类,均是等效。
“而且,你们注意到没有,这台光刻机的稳定性也非常出色。”一位专家补充道,“在连续多批次的测试中,它的曝光均匀性和线宽控制都保持了极高的水准,这对于提高芯片生产的良品率至关重要。”
全都是高水平的专家,但在这里,看到这个刚刚制造出炉,就运输到旁边的辰芯微生产线的EUV光刻机。
他们在进入超洁净车间实际检测之后,纷纷对这台光刻机表达了欣喜和激动之情。
在苦苦愁着dUV光刻机的时候,一个天大的好消息降临。
庐州的华辰微电子制造出来了EUV光刻机?!
他们从最初的绝不相信,认为是有人来骗补助,到如今完全被征服。
这台EUV光刻机,数十万个部件,无不显露出科技的魅力。
陈立新脸上有喜色,“这么说,你们专家组都认为这台EUV光刻机是成功的?”
“当然,这不仅是成功,而且是比较成熟的设计!”
“是的,这技术我看阿斯麦也没有!”
“从来没想到,还能有这么一种光源激发方式,无非就是浪费一些稀有气体罢了,这一点我们华国是稀有气体制造强国。”
至于是什么稀有气体,有些东西需要保密。
“很好!”
陈立新道,“3天后,有关领导会前来视察,届时新闻将正式对外宣布,江总,没问题吧?”
江奕辰点头,“没问题,我们已经做好了准备。”
这是应有之义。
也是应对当前米方最新的发言。
他们竟然宣布,将在近期禁售华国部分高精尖技术产品。
其中,便明确了197nm湿式光刻机。
至于EUV光刻机,早就是禁售名单。
这一次,明确湿式光刻机,便有阿斯麦的因素。
因为,他们收到的消息是,辰芯微面临破产,妄图花大钱订购湿式光刻机。
……